半自动电解抛光传输模块技术

　　一般传统之金属工件清洗系统为多槽串连式，其中包括酸碱洗槽及纯水清洗槽，操作方式以人工为主，每个清洗槽的处理时间控制及清洗物料的洁净处理顺序流程。以工业量产的观点来看，人力所能提重的重量有限，以及繁覆的清洗流程中易出现人为的失误及操作上的安全顾虑。大型不锈钢抛光因此配合半自动电解抛光系统同时发展一套半自动的清洗传输系统，以增加电解抛光前后所需之洁净清洗的效率及确保制程的稳定，降低操作人员的风险，提高产出能量。4 g7 E( [4 ^5 ?  所研发的半自动电解抛光设备模块（如图一）主要期望可以单人操作，所有的操作界面及指示皆在机台的正面，以方便为宜，另外考虑电解抛光过程的便利性及产能，特别要求所有的电路及液体传导都在机台内部运作，也可增加操作的安全性。且为改善现有EP化学槽的作业性，以局部自动化作业的方式，可节省人工操作时间，并提升产能及产品质量的稳定性。
　　化学气体是IC制程的主要材料，随着IC制程线幅缩小，对于供应气体质量的要求也越来越严苛，目前制程对Particle的容忍度已经是在0.1ppb以下，所以对于其反应气体的要求自不在话下，但是对于输送气体的管路组件更须严谨的规范，此乃为了避免选用不当的管路组件而污染制程气体。大型不锈钢抛光 气体供应系统的管路组件影响其管路制程气体洁净度的主要原因有四个：: I! K& l* J. L4 {9 j9 J; }% b: s （1）产生particle：附着于流道表面的异物剥落，及组件材料中介在物释出+ _; w* g4 e1 R3 x3 p （2）金属腐蚀生成物：管路受腐蚀性气体侵蚀造成Fe、Cr等重金属剥离 （3）水分或气体释出：附着于流道表面的水分或气体释出  （4）制程气体变质：管路中输送的制程气体因受到组件中Ni触媒机构的催化作用而起分解作用，例如SiH4变成Si2H6  由以上的机构来看，如欲减少不纯物的产生，应该由下列方式来着手： （1）降低材料中的不纯物以避免管路腐蚀而造成污染 （2）改善材料之耐蚀性能  （3）改善管路组件表面之粗糙度以减少附着堆积的现象  在这三个问题的解决方式中，除第（1）项材料的先天问题，必须配合选择特殊的高洁净不锈钢材之外，其余第（2）（3）项都可以透过电解抛光（EP）的方式来解决，尤其当材料的问题解决，也就是采用洁净不锈钢材之后，EP的效果更是如虎添翼，这也就是为什么EP处理会成为高洁净零组件标处理程序的原因。